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鍍膜(mó)工藝設計

作者: 來源: 日期:2020-11-23 11:28:29 人氣:12061

鍍膜工(gōng)藝之設(shè)計應著重考慮不同薄膜材(cái)料之間需要(yào)不同的沉積工藝,

不同濺射技術的實施(直流、中(zhōng)頻、射頻、脈衝、反應濺射,以及它們之(zhī)間的(de)結合而發展的技術(shù),或者新(xīn)技術的應用等(děng)),

同種技術不(bú)同工藝參數的調整(功率,氣(qì)壓,沉積方式(shì)等),前處(chù)理(清洗(xǐ)、預熱等),後處理(熱處理等)。

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