最直接的鍍膜控製方法是（shì）石（shí）英晶體微量平衡法(QCM)，這種儀（yí）器可以直接驅動蒸（zhēng）發源，通過PID控（kòng）製循環驅動擋板，保持蒸發速率。隻要（yào）將儀器（qì）與係統控製軟件相連（lián）接，它就可（kě）以控製整個的鍍膜過程。但是（shì）(QCM)的精確度是有限的，部分原因是由於它（tā）監控的是（shì）被鍍膜的質量而不（bú）是其光學厚度。
    此外雖然QCM在較低溫度下非常穩定，但溫（wēn）度較高時，它會變（biàn）得對溫度非常敏感。在長時間的加熱過（guò）程中，很（hěn）難阻止傳感器跌入這個敏感區域，從而對膜層造成重大誤差。
    光學（xué）監控是高精密鍍膜的的首選監控方式，這是因為它可以更精確地控製膜層厚度（dù）(如果運用得當)。精確度的改進源於很多因素,但最根（gēn）本的原因是對（duì）光學厚度的監控。
    OPTIMAL SWA-I-05單（dān）波長光學監控係統，是采用間接測控，結合汪博士開發的（de）先進（jìn）光學監控軟件，有效提高光學反應對膜厚度變化靈敏度的理論和（hé）方法來減少終極誤（wù）差，提供了反饋或傳輸的選擇模（mó）式和大範圍的監測波長。特別適合於各種膜厚的鍍膜監控包括非規整膜監控。

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