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磁控濺射膜厚均勻性設計方(fāng)法

作(zuò)者: 來(lái)源: 日期:2020-11-09 10:56:38 人氣:21114

磁控濺射(shè)鍍膜是現(xiàn)代工業中不可缺少的技術(shù)之一(yī),磁控濺射鍍膜技術正廣泛應用於透明導電膜、光學(xué)膜、超硬膜、

抗腐蝕膜、磁性膜、增透膜、減反膜以及各種(zhǒng)裝飾膜,在國防和國民經濟生產中的(de)作用和地位日益強大。


鍍膜工(gōng)藝中的薄膜厚度均勻性,沉積速率,靶材利用率等方麵的問(wèn)題是實際生產中十分關注的。
解決這些實際(jì)問題的方法是對涉(shè)及濺射沉積過程的全部因素進(jìn)行整體的優化設計,建(jiàn)立一個濺射鍍膜的綜合設計係統。
薄膜厚度均勻性是檢驗濺射(shè)沉積過程的最重要參數之一,因此(cǐ)對膜厚均勻性綜合設(shè)計的研究具有重要的理論和應(yīng)用價值。

磁控濺射技術(shù)發展過(guò)程中各項(xiàng)技術的突破一般(bān)集中在(zài)等離(lí)子體的(de)產生以及對等離子體進行的控製等方麵。

通過對電磁場、溫度場和空間不(bú)同種類粒子分布參數的控製,使膜層質量和屬性滿足各行業的要求(qiú)。


膜厚均(jun1)勻性與磁控(kòng)濺(jiàn)射靶的工作狀態(tài)息息相(xiàng)關,如靶的刻(kè)蝕狀態,靶的電磁場設(shè)計等,

因(yīn)此,為保證膜厚均勻性,國(guó)外的薄膜製備公司或鍍膜設備製(zhì)造公司都有各自的(de)關於(yú)鍍膜設備(包括核心部件“靶”)的整套設計方案。

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