真(zhēn)空蒸發鍍膜是指(zhǐ)在(zài)真(zhēn)空條件(jiàn)下,通過蒸發源加(jiā)熱蒸發某種物質使其(qí)沉積在基板材(cái)料表麵(miàn)來獲(huò)得薄膜的一種技術。
被蒸發的物質被(bèi)稱為(wéi)蒸鍍材料。蒸(zhēng)發鍍膜(mó)最早由 M.法拉第在 1857年提(tí)出,經過一百多年的發展,現已成為主流(liú)鍍(dù)膜技術之(zhī)一。
真空蒸發鍍膜(mó)係統一般由三個部分組成:真空室、蒸發源或蒸發加熱裝置、放置(zhì)基板及給基板加熱裝置。
在真空中為了蒸發待沉積(jī)的材料,需要容器來支(zhī)撐或盛裝蒸發物,同時需要(yào)提(tí)供(gòng)蒸發熱使蒸發物達到足夠高的溫度以產生所需的蒸汽壓。
真空蒸發鍍膜技術具有簡(jiǎn)單便利、操作方便、成膜速度快等特點,是應用廣泛的(de)鍍膜技(jì)術,主要應用於光學羞羞视频_羞羞漫画_羞羞视频在线观看_羞羞漫画在线观看_羞羞漫画SSS_羞羞色漫_羞羞网站_羞羞漫画在线_羞羞小视频_羞羞影院_羞羞漫画免费观看_羞羞漫画官网器件、LED、平板顯示和半導體分立器的(de)鍍膜。
真空鍍膜材料按照化學成(chéng)分主要可以分為金屬/非金屬顆粒蒸發料,氧化物蒸發料,氟化物蒸發料等(děng)。