物理蒸鍍就是把物（wù）質加熱揮發，然後將（jiāng）其蒸氣沉積在預（yù）定的基材上。由於蒸發源須加熱揮發，又是在真空中進行，故亦稱為熱蒸鍍或真空蒸鍍（dù）。
其可分為三個步驟:
(1)凝態的物質被加熱揮發成汽相
(2)蒸汽在具空中移動一段距離至（zhì）基（jī）材
(3)蒸汽在（zài）基（jī）材上冷卻（què）凝（níng）結成（chéng）薄膜（mó）
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其可分為三個步驟:
(1)凝態的物質被加熱揮發成汽相
(2)蒸汽在具空中移動一段距離至（zhì）基（jī）材
(3)蒸汽在（zài）基（jī）材上冷卻（què）凝（níng）結成（chéng）薄膜（mó）