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膜厚的量測方法有哪些

作者: 來源: 日期:2020-07-28 13:56:26 人氣:10055

膜厚的量測方法大致上可分為原位(wèi)量測、離位量(liàng)測兩類 

原位星測(cè)係指鍍膜進行中量測,普遍使用在物理氣相沉積,如(rú)微天平、光學、電阻量測。

離(lí)位(wèi)量測係指鍍膜完成後量測,對電鍍膜的行使較為普遍,具有了解電鍍效(xiào)率的目的,如質量、剖麵計、掃描式電子顯微鏡。

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