通俗的定義為在正常狀況下，其應用功能不會失效。

想要達（dá）到這個目的，一般而言這層薄膜必（bì）須具有堅牢的附著力、很低的內應力、針（zhēn）孔密度很少、夠強的機械性能、均勻的膜厚、以及足夠的（de）抗化學侵（qīn）蝕性。

薄膜的特性主要受到沉積過（guò）程（chéng）、成（chéng）膜條件、接口（kǒu）層的形成和基材的影響，隨後的熱處（chù）理亦扮演重要角色。 

沉積的薄膜有（yǒu）內應力的存在，其來（lái）源為何? 

薄膜和基材之間的晶格失配 

薄膜（mó）和基材之間的熱膨脹（zhàng）係數差（chà）異 

晶（jīng）界之間的互擠