隨著科（kē）技（jì）的發展，真空鍍膜工藝技術已經在：太陽（yáng）能集熱管、太陽（yáng）能電池（chí）、磁帶、光盤、半導體器件、光學器件、光電顯示器件、玻璃（lí）、工模具和切削刀具的超硬塗（tú）層、汽輪機葉片的抗熱塗（tú）層（céng）、五金製品、手表、手機和眼鏡的裝飾、塑料製品金（jīn）屬化、包裝用塑料薄（báo）膜等多個領域廣泛應用。

真空鍍（dù）膜設備（bèi）有多種規格的（de）單室機和多室連續機。工藝方法上可分為：真空蒸鍍、離（lí）子鍍、濺射鍍、束流（liú）沉（chén）積鍍以及分（fèn）子束外延等。真空鍍膜（mó）設備的（de）運行性能直接影響生產工藝、產品質量和生產，為（wéi）了（le）使設備的運行性能正常，必須建立和完善設備的；維護與維修製度、維護內容、維修標準等。

一、維護與維修製度（dù），為了使真空鍍膜設備在維護、維修及生產過程中出現問題能得到及時收集、傳遞（dì）、分析和處理. 而製定的（de）管理製度。

1.有完（wán）善的製度,如設備的使用操作規程。維（wéi）修人員在維修時應掛放“正在（zài）維修（xiū）”牌，並切斷電源以防他人使用機器設備等.

2.在（zài）工廠生（shēng）產管理中,設備的維護與維修是重要的一方麵。應該有專職的、能力強的維修人員負責。

二（èr）、設備的（de）維護，維護可分為：日（rì）常（cháng）維護和（hé）定（dìng）期維護。

1.日常維護就是在當天生產中發現設備有不良跡象，就馬上解決。發現機械泵的（de）油少了就要添加，不要認為這（zhè）油是定期更換（huàn）的，等到了時間（jiān）在維護，可能泵（bèng）的轉（zhuǎn）子就會磨損嚴重了（le）。再比如工件轉（zhuǎn）架的軸（zhóu）承有些卡，就要（yào）更換軸承，而等到（dào）它徹底的壞了再換（huàn），問題（tí）可就大了，可能引起轉架電機燒毀等。

2.定期維護，有（yǒu）人會問有了日常維護還有必要定期維護嗎？其實每一種設備都有自己使用壽命，比（bǐ）如擴散泵用的矽油使用壽命為2年左右，我就規定1年半就把它換掉，這樣做是不是浪（làng）費，我覺的不浪費（fèi），從設備服務於生產來說是值得的，老板（bǎn）最不希望（wàng）看到的是機器在生產階（jiē）段出現（xiàn）問題。隻要你把日常維護和定期維護做好（hǎo）了（le），在延（yán）長設備壽命的同時，生產過程中出現故障的幾率也（yě）大大（dà）降低，生產效（xiào）率也提高了。

三、設備維修（xiū）：說到維修很多人都頭疼的是真空部分的（de）漏氣，真空部分出了問題比較麻煩，再加上很多公司沒有檢漏儀，這就（jiù）要分階段來找。真空抽不（bú）上去原因可（kě）能有（yǒu）以下幾點：

1.也許（xǔ）是漏率偏高就是我們常說的有漏氣；

2.也許是真空（kōng）機組的（de）抽氣能力不夠了，油被汙染或氧化了；

3.也許是真空室內太髒放氣。

或者是這幾種可能都有。出現問（wèn）題，首先是要判斷，是不是拆裝過東西？會不會漏水？閥門打開了嗎？根據現象判（pàn）斷（duàn）原因，然後再去根據（jù）判（pàn）斷找問題，可（kě）能會收到事（shì）半功（gōng）倍的效果。有次我們清洗弧蒸發源，清洗完裝上一試抽真空比以前慢了，就懷疑是弧蒸發源漏氣（qì），後來經過（guò）檢查是弧蒸發源的一個密封圈本來是要更換的（de），在裝配時認為（wéi）還可以就沒有更換，結果就造成了漏氣。