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PVD 工藝過程

作者: 來源(yuán): 日期:2016-10-19 8:38:29 人氣:5551
PVD 工藝(yì)過程
塗層技術及工藝流程塗層技術及工藝流程塗(tú)層技術及工藝(yì)流程塗層技術及工藝流程(chéng)     1.真空塗層技術的發展   真空塗層(céng)技術起步時間不長,國際上在上世紀六十年代才出現將CVD(化學氣相沉積)技術應用於硬質合金(jīn)刀具上。由於   該技術需在高溫下進行(工藝溫度(dù)高於 1000ºC),塗層種(zhǒng)類單一,局限性很大,因此,其發展初期未免差強人意。   到了上(shàng)世紀(jì)七十年代末,開始(shǐ)出現 PVD(物(wù)理氣相沉積) 技術,為真空塗(tú)層開創了一個充滿燦爛前景的(de)新天地,之後在短短的二(èr)、三十年間PVD 塗層技術得到迅猛發(fā)展,究其原因,是因為(wéi)其在真空密封的腔體內成(chéng)膜,幾乎無任何環境汙染問題,有利於環(huán)保;因為其能得(dé)到光亮、華貴的表麵,在顏色上,成熟的有七彩色、銀色、透明色、金黃色、黑色、以及由金黃色到(dào)黑色之間的任何一種顏色,可謂五彩繽(bīn)紛(fēn),能(néng)夠滿足裝飾性的各種需要;又由於 PVD 技術,可以輕鬆得到其他方法難以獲得的高硬度、高耐磨性的陶瓷塗(tú)層、複合塗層,應用在(zài)工裝、模具上麵,可以使壽命成倍提高,較好地實現了低成本、高收益的效果;此外, PVD 塗層技術具有低溫、高能兩個特點,幾乎可以在任何基材上成膜,因此,應用(yòng)範圍十分廣闊,其發展神速也就不足(zú)為(wéi)奇(qí)。   真空塗(tú)層技術發展到了今天還出現了PCVD(物理化學氣相沉積(jī))、MT-CVD(中溫化學(xué)氣相沉積)等新技術(shù),各種塗層設備、各種塗(tú)層工藝層出不(bú)窮,如今在這一領域中,已呈現出百花齊放,百家爭鳴的(de)喜人景象。   與此同時,我們還應該清醒(xǐng)地看到,真空塗層技術的發展又是嚴重不平衡的。由於刀具、模具的工作環境極其惡(è)劣,對(duì)薄膜附著力的要求,遠高於裝飾(shì)塗層。因而,盡管裝飾塗層的廠(chǎng)家已遍布各(gè)地,但能夠生產工模塗層的廠家並不多。再加上刀具、模具塗層售後服務的欠缺,到目前為止,國內大多數塗層設備廠家都不能提供(gòng)完整的刀(dāo)具塗層工藝(yì)技術(包括前(qián)處理工藝、塗層工藝、塗後處理工藝、檢測技術、塗層(céng)刀具和模具的(de)應用技術等),而且,它還要求工藝技術人員,除(chú)了精通塗層的專業知(zhī)識以外(wài),還應具有紮實的金屬材料與熱處理知識、工模塗層前(qián)表麵預處理知識、刀具(jù)、模具塗(tú)層的合理選擇以及上機使用的技術   要求等,如果(guǒ)任一環節出現問題,都會給使用者產生(shēng)使用效果不(bú)理想這樣的結論。所有這些,都嚴重製約了該技術在刀具、模具上的應用(yòng)。   另一方麵(miàn),由於該(gāi)技術是一(yī)門介乎(hū)材料學、物理學、電子、化學等學科(kē)的新興邊緣學科,而國內將其(qí)應用於刀具、模具生產領域內的為數不多的幾個(gè)骨(gǔ)幹廠家(jiā),大多走的也是一條(tiáo)從國外引(yǐn)進先進設備(bèi)和工藝技術的路(lù)子,尚需一個消化、吸收的過程,因此,國內目前在該領域(yù)內的技術(shù)力量與(yǔ)其(qí)發展很不相稱,急需奮起直追。   2. PVD 塗層的基本概念及其特點   PVD 是英文“Physical Vapor Deposition”的縮寫形式,意思是物(wù)理氣相(xiàng)沉積。我們現在一般地把真空蒸鍍、濺射鍍膜、離子鍍等都稱為物理氣相沉積。   較(jiào)為成熟的 PVD 方法主要(yào)有多弧鍍與磁控濺射鍍兩種方式(shì)。多弧鍍設備結(jié)構簡單,容易操作。它的離子蒸發源靠電焊機電源供電即可工作,其引弧的過程也與電焊類似,具體地說,在一(yī)定工藝氣(qì)壓下(xià),引弧針(zhēn)與蒸發離(lí)子源短暫接(jiē)觸,斷開,使氣體放電。由於多弧鍍(dù)的成因主要是借助於不斷移(yí)動的弧斑,在蒸發(fā)源表麵上連續形成熔池,使金屬(shǔ)蒸發後,沉積(jī)在基體上而得到薄膜層的,與磁控濺射相比(bǐ),它不但有靶材利用率高,更(gèng)具有金屬離子離化率高,薄膜與基體之間結合力強的優點。此外,多弧鍍塗層顏色較為穩定,尤其是在(zài)做 TiN 塗層時,每一批次均容易得(dé)到相同穩定的金黃色,令磁控濺射法望塵莫及。多弧鍍的(de)不足之(zhī)處是,在用傳統的 DC 電源做低溫塗層條件下(xià),當塗層厚度達到0.3μm 時,沉積率(lǜ)與反(fǎn)射率接近,成膜變(biàn)得非常困難(nán)。而且,薄膜表麵開始變朦。多弧鍍另一個(gè)不足之處(chù)是,由於金屬是熔後蒸發(fā),因此沉積顆粒較大,致密度低,耐磨性比磁控濺(jiàn)射法(fǎ)成膜差。   可見,多弧鍍膜與磁控濺射(shè)法鍍膜各有優(yōu)劣,為(wéi)了盡可能地發揮它(tā)們(men)各自的優越(yuè)性,實(shí)現互補,將多弧技術與磁控(kòng)技術合而為一的(de)塗層機應運而生。在工藝上出現了多弧(hú)鍍打底,然(rán)後利(lì)用磁控濺射(shè)法(fǎ)增厚塗層,最後再利用多弧鍍達到最終穩(wěn)定的表麵塗層(céng)顏色的新方法。   大約在八十年代中後期,出現了熱陰極電子(zǐ)槍蒸發離子鍍、熱陰(yīn)極弧磁控等離子(zǐ)鍍膜機,應用效果很好,使TiN 塗(tú)層刀具很快得到(dào)普及性應用。其中熱陰極電子槍蒸發離子鍍,利用銅坩堝加熱融化被鍍金屬材料,利用鉭燈絲給工件加熱、除氣,利用電子槍增強離化率,不但可以得到厚(hòu)度 3~5μm的TiN 塗層,而且其結合力、耐磨性均有不俗表現,甚至(zhì)用打磨的方法都難以除去。但(dàn)是(shì)這些設(shè)備都隻適合於 TiN塗層(céng),或純金屬薄膜。對於多羞羞视频_羞羞漫画_羞羞视频在线观看_羞羞漫画在线观看_羞羞漫画SSS_羞羞色漫_羞羞网站_羞羞漫画在线_羞羞小视频_羞羞影院_羞羞漫画免费观看_羞羞漫画官网塗層或複合塗層,則力不從(cóng)心,難以適應(yīng)高硬度材料高速切   削以及模(mó)具(jù)應用多樣性(xìng)的(de)要求(qiú)。   3. 現代(dài)塗層(céng)設備(均勻加熱技(jì)術、溫度測量技(jì)術、非平衡磁控濺射技術、輔助陽極技術、中頻電源(yuán)、脈衝技術) 現代塗層設備主要由真空室、真空獲得部分、真(zhēn)空測量部分、電源供給部分、工藝氣體輸入係統、機械傳動(dòng)部分、加熱及測溫(wēn)部件、離子蒸發或濺射源、水冷係統等部分組成。   3.1 真空室   塗層設備主要有連續塗層生產線及單室塗層機兩種(zhǒng)形(xíng)式,由於(yú)工模塗層對加熱及機械傳動部分有較高要求,而且工模形狀、尺寸千(qiān)差萬別,連續塗層生產線通常難以滿足(zú)要求(qiú),須采用單(dān)室塗層機。   3.2 真空獲得(dé)部分   在真空(kōng)技術中,真空獲得部分是重要組成部分。由於工模件塗層(céng)高附著力的要求,其塗層工藝開始(shǐ)前背景真(zhēn)空度最好高於6mPa,塗層工藝結(jié)束後真空度甚至可達 0.06mPa 以上,因此合理選擇真空獲得設備,實現高真空度至關重(chóng)要。   就(jiù)目前來說,還沒有一種泵能從大氣壓一直工作到接近超高真空。因此,真(zhēn)空的獲得(dé)不是一種真空設備和方法所能達(dá)到的,必須將(jiāng)幾種泵聯合使用,如機械泵、分子泵係統等。   3.3 真空測量部分   真(zhēn)空係統的(de)真空測量部分,就是要(yào)對真空室內的壓強進(jìn)行測量。像真空泵(bèng)一樣,沒有一種真空計能測量整個真空範圍,人(rén)們於是按不同的原理和要求製成了許多種類(lèi)的真空計。   3.4 電源供(gòng)給部分(fèn)靶電源主要有直(zhí)流電源(如 MDX)、中頻電源(如美國 AE公司生產的(de) PE、PEII、PINACAL);工件本身通常需加直流電源(如 MDX)、脈衝(chōng)電源(yuán)(如美國AE公司生產的 PINACAL+)、或射頻電源(RF)。   3.5 工藝氣體輸入係統   工藝氣體,如氬氣(Ar)、氪氣(Kr)、氮氣(N2)、乙炔(C2H2)、甲烷(CH4)、氫氣(qì)(H2)、氧氣(O2)等,一般均由氣瓶供應,經氣體減壓閥、氣體截止閥、管(guǎn)路、氣體(tǐ)流量計、電磁閥、壓電閥,然後通(tōng)入真空(kōng)室。這種(zhǒng)氣體(tǐ)輸入係統的優點是,管路簡捷、明(míng)快,維修或更(gèng)換氣瓶容易。各(gè)塗層機之間互不影響。也有多台(tái)塗(tú)層機共用一組(zǔ)氣瓶的情況,這種(zhǒng)情況在一些規模較大的塗層車間可能有機會看到。它的好(hǎo)處是,減少氣瓶占用量,統一規劃、統一布局。缺點是,由於接頭增多,使漏氣機會增加。而且,各塗層機之間會互相幹擾,一(yī)台塗層機的管路漏氣,有可能會影響到(dào)其他塗層機的產品質量。此外,更換氣瓶時,必須保證所有主機都處於非用氣狀態。   3.6 機械傳動部分   刀具(jù)塗層(céng)要求周邊必(bì)須厚度均勻一致,因此,在塗層(céng)過程中須有三個(gè)轉動量才能滿(mǎn)足要求。即在要求大工件台轉動(I)的同時,小的工件承載(zǎi)台也轉動(dòng)( II),並(bìng)且工件本身還能同時自轉(zhuǎn)(III)。   在機械設計上,一般(bān)是在大工件轉盤底(dǐ)部中央為一大(dà)的主動(dòng)齒輪,周圍是一(yī)些小的星行輪與之齧合(hé),再用撥叉撥動工件自轉。當然,在做模具塗層時,一般有兩個轉動量就足夠了,但是齒輪可承載量必須大大增強。   3.7 加(jiā)熱及測溫部(bù)分   做工模塗層的時候,如(rú)何保證被鍍工件均勻加(jiā)熱比(bǐ)裝飾塗   層加熱要重要得多。工模塗層設備一般均有前後兩個加(jiā)熱器,用熱(rè)電偶測控溫度(dù)。但是,由於熱電偶裝夾的為置不同,因而,溫度讀數不可能是工件的(de)真實溫度。要想測得工件的真實(shí)溫度,有(yǒu)很多方法,這裏介紹一種簡便易行(háng)的表麵溫度計法 (Surface Thermomeer)。該溫度計的工作原理是,當溫度計受熱,底部的彈簧將受熱膨脹(zhàng),使指針推動定位指針旋轉,直(zhí)到(dào)最高溫度。降溫的時候(hòu),彈簧收縮,指針反向旋轉,但定位指針維持(chí)在最高溫度位置不動,開門(mén)後,讀取定位指針指示的溫度(dù),即為真空室內加熱時,表麵溫度計放置位置所曾達到(dào)的最高溫度值。   3.8 離子蒸發及濺射源   多弧(hú)鍍的蒸發源一般為圓餅(bǐng)形(xíng),俗稱圓餅靶,近幾年也出現了長方形的多弧靶,但未見有明顯(xiǎn)效(xiào)果。圓餅靶裝在銅靶座(陰極座)上麵,兩者為(wéi)羅紋連接。靶座中裝有磁鐵,通(tōng)過前後移動磁鐵,改變磁場強度,可調整弧斑移動速度及軌跡。為了降低靶(bǎ)及靶座的(de)溫度,要給靶(bǎ)座不斷通入冷卻水。為了保證靶與(yǔ)靶座之間的高導電、導熱性,還可以在靶與靶座之(zhī)間(jiān)加錫(xī)(Sn)墊片。磁控濺射鍍膜一般采用長方形或圓柱形靶材,   3.9 水(shuǐ)冷係統   因為工模塗層時,為(wéi)了提高金屬原子(zǐ)的離化率,各個陰極靶座(zuò)都盡(jìn)可能地采用大的功率輸出,需(xū)要充分冷卻;而且,工模塗層(céng)中的許多種塗層,加熱溫度(dù)為 400~500ºC,因此,對真空室壁(bì)、對各個密封麵的冷卻也很重要,所以冷卻水最好采用(yòng)18~20ºC 左右的冷(lěng)水機供水。為了防止開(kāi)門後,低溫的真空室壁、陰極靶與熱的空氣接觸析出水珠,在開門前 10 分鍾左右,水冷係統(tǒng)應有能力切換(huàn)到供熱水狀態(tài),熱水溫度約為 40~45ºC。   4. 工模具PVD 的工作步驟   工模具(jù) PVD 基本工藝流程可簡(jiǎn)述為:IQC→前處理→PVD→FQC,分別介紹如後。   4.1 IQC   IQC(In Quality Control)的主要工作除了常規(guī)的清點數量   ,   檢查圖紙與實物是否相符外,還須仔細檢查(chá)工件表麵,特別(bié)是刃口部(bù)位有無(wú)裂紋等(děng)缺陷。有(yǒu)時對於一些刀具、刀粒的刃(rèn)口,在體式顯微鏡下觀察(chá),更方便發現問題;另外,IQC 的人員還要注意檢查待鍍(dù)膜件有無塑膠、低熔點的焊料等,這些東西如果因漏檢而混入(rù)鍍膜程序,則將在真空室內嚴重放氣,輕者造(zào)成整批產品脫塗層,重者使(shǐ)原本 OK 的產(chǎn)品報廢,後果不堪(kān)設想。   4.2 前處理工藝(蒸汽槍、噴砂、拋光、清洗)   前(qián)處理的目的是淨化或粗化工件表麵。淨化就是要去除各種表麵玷汙物,製備潔淨(jìng)表麵。通常使用(yòng)各種淨化劑,借助機械、物理或化學的(de)方(fāng)法進行(háng)淨化。   粗化與光(guāng)蝕相反,其目的在於製備粗(cū)糙的表麵以提(tí)高噴塗層或塗料裝飾的結(jié)構強度。我(wǒ)們現在已有的前處理主(zhǔ)要方法為:高溫蒸洗、清洗、噴砂、打磨、拋光等方法。   4.2.1   高溫蒸洗   目前,PVD 車間(jiān)常用的高溫蒸洗設(shè)備是蒸(zhēng)汽槍。它的最大工(gōng)作溫度可達 145?C,氣壓在 3~5 巴左右。由於模具中經常帶有一些細小(xiǎo)孔、螺紋孔,孔(kǒng)內(nèi)中(zhōng)常常有油汙、殘餘冷卻液等雜(zá)質,用(yòng)常規清洗的方法難以除去。此時,高溫蒸洗(xǐ)設備便可最大程度的發揮它的優越性。   
4.2.2   清洗   各廠工模塗(tú)層前清洗(xǐ)程序大(dà)致如下:   1.超聲波除蠟→2.過水→3. 超聲波(bō)除油→4.過水→5. 超聲波(bō)自換→6.過水→7.過純水→8.強風幹燥   具體實施時,與我們所熟悉的裝飾塗層前的清洗又有許多不同。這是因為裝飾塗層的底材大多為不鏽鋼或鈦合金,不容易生鏽。此外,裝飾塗層對水印、點痣(zhì)等缺陷(xiàn)是絕對不允(yǔn)許的。因此,裝飾塗層對純水的水質要求(qiú)極高,甚至要(yào)達到 15MΩ 以上。要保證清洗的高質量(liàng),可以通過反複(fù)清洗,並在(zài)高質量的純水加超聲波中長時間浸泡(pào)來(lái)得到。但是,工模的清洗就不同,尤其是一些熱(rè)做模具鋼,如果像裝飾塗層那樣(yàng)去清洗,就(jiù)會鏽得一塌糊塗。   由於工模塗層的原始表麵狀態,除了一些高標準的鏡麵模具以外,一般較裝飾塗層要粗糙,因而,對塗(tú)層後的表麵狀態的要求也不象裝(zhuāng)飾塗層那樣(yàng)高,這就(jiù)允許我們采取快(kuài)速過水,用幹燥、無油的壓縮空氣吹幹(gàn),然(rán)後對工(gōng)模強風(fēng)幹燥的方法(fǎ)來處理。而那些高標準(zhǔn)的鏡麵(miàn)模(mó)具,一般均為136 等不鏽鋼,可以借用裝飾塗層的清洗(xǐ)法。   總而言之,工模塗(tú)層前的清洗方法因(yīn)工模所使用的材料的不同而不同,因工模塗層前的表麵狀(zhuàng)態的不同而不同,且不可千(qiān)篇一(yī)律。下麵是幾(jǐ)種材料生鏽由難到易的排序,供參考:
不鏽鋼(gāng)、硬質合(hé)金、金屬陶瓷合金、DC53、高(gāo)速鋼(gāng)、8407 有一種自(zì)動清洗機型號為 CR288,產自德國。該機一次最大(dà)   清洗量為 80KG,主要用(yòng)於清洗刀具、小型零部件、或小尺寸的模具。它(tā)共有三個清洗缸,裏麵的溶液(yè)分別為自(zì)來水+清洗劑、自來水、去離子水。除了常見的超聲(shēng)波、大水衝洗、噴淋、擺動、熱風幹燥等功能外,該(gāi)機另外一個優點是最後設有抽真空步驟,可(kě)以使水分盡(jìn)快揮(huī)發掉。   自動清洗機(jī)內存十種工(gōng)藝,均由供方預先設定。一至九(jiǔ)可分別用於不同類型的產品、不同的表麵狀態的淨化處理。第十(shí)種(zhǒng)用於加注(zhù)清洗劑。   4.2.3   噴砂   噴砂法(fǎ)是借助(zhù)壓縮空氣使磨料強力衝刷工件表麵,從而(ér)去除鏽蝕、積碳、焊渣、氧化皮、殘鹽、舊漆層等表(biǎo)麵缺陷。按磨(mó)料使用條件,噴砂分為幹噴砂與濕噴砂兩類。   噴砂的工藝參(cān)數主要有槍距、傾角、裝夾台旋轉速度、移動(dòng)速度、行程、往(wǎng)返次數、噴砂時間、噴砂氣壓。我們已使用過的參數有槍距:30~70mm; 傾角 30~70?C; 裝夾台旋轉速度 10~30;往返次數 3~9 次;噴砂氣壓:1.8~3.5 巴等(děng)。具體操作時,根據工件表(biǎo)麵髒汙程度,工件硬度,工件表麵幾何(hé)形狀等因素,選取上下限。我們在(zài)幹噴砂機中所選用的磨料為玻(bō)璃珠,適合噴一些硬度介(jiè)中的材(cái)料,如油鋼(gāng)、模具(jù)等;在液體噴砂機中所選用的磨料為氧化鋁,硬度較高,適合噴一些硬度高的材料,如硬質合金材料。對於工模塗層而言,噴砂所使用的磨料粒度也很重要。如果(guǒ)磨料粒度過大,則(zé)工件表麵太粗糙;如果磨料粒度太(tài)小,又會降低衝擊力度,甚至嵌在工件表麵(miàn),清洗難以去除,從而使工件塗層附著力降低。為此,歐洲一些國家,對工(gōng)模(mó)塗層前(qián)噴砂(shā)   所用磨料粒度做過仔細研究,嚴格到必須保證 85%以上的晶粒度在中 A、B 兩點範圍內才能使用。相比之下,我國磨料的供應商還缺乏這方麵的共識,我們也很少有做這方麵的檢驗。   4.3 PVD 塗層工藝(加熱、離子清洗、塗層、冷卻、工藝氣體(tǐ)、氣壓、溫(wēn)度、濺射(shè)功率)   4.4 FQC   FQC 的英文全拚為:“Function Quality Control”,意思是功能質量控(kòng)製,它有別與一般意義上(shàng)的 OQC(Out Quality Control) 。FQC 的內容主要包括外觀檢查、層深檢查、附著力檢(jiǎn)查、耐磨性檢查、抗蝕性檢查(chá)、模擬性測試等方法。我廠目前應用的主要(yào)有外觀檢查、層深(shēn)檢查和(hé)附著力檢查。由於我(wǒ)們所接觸的產品大多都是不允許做破壞性(xìng)檢查的,因而我們在鍍膜時,每批都會放進隨批試樣。做層深檢查和附著力檢查的時候,大多數情況下,實際上是對隨批(pī)試樣進行檢查。因為試樣與產品在原材料、熱處(chù)理狀態、裝夾位置等(děng)方麵都難(nán)於一致,所以這樣檢測出的結果,與產品實(shí)際值(zhí)會有一定的誤差。有時可能還會有相當大的誤(wù)差,隻能做參考使用。當然,必要的時候,我們也可以通過製作模擬件,達(dá)到準確測量的目的。  
 4.4.1   外觀(guān)檢
對於開門取件後的產品,應仔細檢查表麵有無裂紋(wén)、掉塗層、疏鬆等(děng)缺陷。對於(yú)刀具、刀粒,還需在顯微鏡下仔細檢查它們的(de)刃口狀態。   4.4.2   層深檢(jiǎn)查   層深(shēn)檢查(chá)有切片金相觀察法、X-ray 檢查法、用單色光做光源的光學測試法、球磨儀測試法等多種方法。工模塗層的層深檢查是(shì)在球磨儀上進行的。方法是先用直徑為 10mm 的鋼球與測試表麵滾磨(mó),然後在顯微鏡下測(cè)量磨痕的有關數據,帶入公式(shì)中,即可(kě)方便算出層深。   這種層深檢查(chá)法(fǎ)的特點(diǎn)是:方便適(shì)用,誤差稍大。但這種誤差應用於工(gōng)模(mó)上麵(miàn)影響不會太大。有興趣的同事還可(kě)參閱(yuè)有關的說(shuō)明書。附著力的檢(jiǎn)查方法有很多,各個(gè)廠根據自己產(chǎn)品的特點,都製定了相應的檢測方法。其(qí)中,比較權(quán)威的方法有(yǒu)兩種,一種是在洛氏硬度計上,以圓錐型金剛石壓頭做壓痕試驗,在顯微鏡下觀察,以壓痕(hén)周邊(biān)裂紋的多少來判斷塗層附著力的高低。該方法對金剛石(shí)壓頭(tóu)的形狀要求很高,不但嚴格要求中心點在圓的中心,而且金剛石圓錐的圓度必須十分規則(zé)。遺憾的是,目前,我國還沒有(yǒu)它的國(guó)家或行(háng)業標準;另一種方法是劃痕法,我國有些塗層發起較早的科研部門,也是(shì)采用的該方法,有專門的國家行業標準可供查詢。   5. 工裝夾具的處理   6. 塗(tú)後處理工藝(噴砂、塗脂技術,拋光處理)   7. 檢測技術(結合力的(de)檢測、層深的檢測、酸蝕)   8. 塗層剝離技術(TiN/TiAlN 的剝(bāo)離技術、CrN/DLC/CrAlTiN 的剝離技術、硬質合金的(de)表麵塗層剝離技術)   9.塗層刀具(jù)的應用技術(塗層(céng)的正確(què)選擇、塗層刀具的正確(què)使用   塗(tú)層對刀具的優化非常大,由(yóu)於高速切削加工比傳統切削加工所產生(shēng)的溫度要高,應用塗層,可以發揮其耐高溫、抗氧化及加硬材質等作用。例如,氮化鉻(CrN)塗層可降低磨擦係數,改(gǎi)善光潔度及排屑情況 



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