排氣係(xì)統(tǒng)為(wéi)鍍膜機真空係統的重要部分,主要有由(yóu)機械泵、增壓泵(主要介紹羅(luó)茨(cí)泵)、油(yóu)擴散泵三大部分組(zǔ)成。今天
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機械泵是應用最(zuì)廣泛的一種低真空泵,它(tā)是用油(yóu)來(lái)保持密(mì)封(fēng)效果並依靠機械的方法不斷的改變泵內吸氣空腔的體積,使被抽容器內氣體的體積不斷膨脹(zhàng)從(cóng)而獲得真空。 機械(xiè)泵有很多種,常(cháng)用的有滑閥式(此主要應用於大型(xíng)設備)、活塞往(wǎng)複式、定片式和旋(xuán)片式(shì)四種類型。 機械泵常常被(bèi)用來抽除幹燥的空氣,但(dàn)不能抽除含氧量過高、有爆炸性和腐蝕性的氣體,機械泵一般(bān)被用來(lái)抽除永久(jiǔ)性的(de)氣體,但(dàn)是對水氣沒有好的效果,所以它不能抽除水氣。旋片泵中起主(zhǔ)要作用的部件是(shì)定子、轉子、彈片等,轉子在定子裏麵但與定子不同心軸,象兩個內切圓,轉子槽(cáo)內裝有兩片彈片,兩彈片中間裝有彈(dàn)簧,保證了彈片緊緊貼在定子的內壁。
它的兩個彈片(piàn)交替(tì)起著兩方麵的作用,一方麵從進氣口吸進氣體,另一方麵壓縮已經吸進的氣體(tǐ),將氣體排出泵(bèng)外。轉子(zǐ)每旋轉一(yī)周,泵完成兩次吸氣和兩(liǎng)次排氣。當泵連續順時針轉動時,旋片泵不斷的通過進氣口吸入氣體,又(yòu)從排氣口不斷的排出泵外(wài),實現對容器抽氣的目的。為了提高泵的極限真空度,均將(jiāng)泵的定子(zǐ)浸在油裏(lǐ)麵這樣,在各處的間隙中及有害空間裏麵經常保持足夠的油,把空隙(xì)填滿,所以油一方麵起到了(le)潤滑作用,另(lìng)一方(fāng)麵又起(qǐ)了密封和堵塞縫隙(xì)及有害空間的作用,防(fáng)止氣體分子通(tōng)過各種渠道反流到壓強低的空間去。
機械泵是從大氣開始工作的,它(tā)的主要參數有極限真空,抽氣速率,此為設計與選用機械泵的重要依據(jù)。單級泵可以將容器從大氣抽到1.0*10-1PA的極限真空,雙級機械泵可以將容器從大(dà)氣抽到6.7*10-2帕,甚至更高。
抽氣速率,是指旋片泵(bèng)按額定轉數運轉時,單位時間內所能(néng)排出氣體的體積,可以用下公式計算:
Sth=2nVs=2nfsL
fs表示吸氣結(jié)束時空腔截麵積,L表示空腔長度,係數表示轉子每旋轉一周有兩次排氣(qì)過程(chéng),Vs表示當轉子處於水平位置(zhì)的時候,吸氣(qì)結束,此時空腔內的體積最大,轉速為n。
機(jī)械泵排氣的效果還與電機的轉速(sù)及皮帶的鬆緊度有關係,當電機的皮帶比較(jiào)鬆,電機轉(zhuǎn)速很慢的時候,機(jī)械泵的排(pái)氣效果也會(huì)變(biàn)差(chà),所以要經常(cháng)保養,點檢,機械泵油的(de)密封效果也需要常常點檢,油過少(shǎo),達不到密封效果,泵內會漏氣,油(yóu)過多(duō),把吸氣孔堵(dǔ)塞,無法吸氣和排氣,一般,在(zài)油位在線下0.5厘米即可。