油擴（kuò）散泵的應用壓強範圍是（shì）10-1帕-10-7帕，它是利用氣體的擴散現象來排氣的，它具有結構簡單，操作（zuò）方便，抽速大（最高可以達到10+5升/秒）等特點。油擴散泵主要由泵殼、噴嘴、導流管和加熱（rè）器組成，裏麵主要添加（jiā）擴散（sàn）泵油（日本的型號是D-704#），根據噴嘴的多少可以分為單級泵和多級（jí）泵。 

        擴散（sàn）泵底部內儲存有擴散泵油，上部為進氣口，右（yòu）側旁下（xià）部為出氣口（kǒu），在工作時出氣口由機械泵提供前置壓（yā）強，機械泵充（chōng）當（dāng）前置泵。 

        當擴散泵的油被電爐加熱（rè）時（shí），產生的油蒸汽（qì）提供前置壓強，機械泵（bèng）充當前置泵。當擴散泵油被電爐加熱時，產生（shēng）的油蒸汽沿著（zhe）導流管經傘形噴嘴向下噴出。因噴嘴（zuǐ）外麵有機械（xiè）泵提供的1-10-1帕的真空，故油蒸汽可（kě）噴出一段距離，構成一個向出氣口方向（xiàng）運動的射流。射流最後（hòu）碰上由冷卻水冷卻的泵壁，凝結為液體，流回蒸發器，即（jí）靠油的蒸發（fā）——噴射——凝結，重複循環來實現抽氣的。 

         由進氣（qì）口進入泵內的氣體分子，一旦落入蒸（zhēng）汽流中（zhōng），便獲（huò）得向下運動的動量，向下飛去，由於射流具有高的流速（約200米（mǐ）/秒），高的蒸汽密（mì）度（dù），且擴散泵油具有高（gāo）的分子量（300-500）故能有（yǒu）效的帶走氣體分子，因此在射流（liú）的界麵內（nèi），氣體分子不可能長期滯留，且（qiě）在射流界麵的兩邊，被抽（chōu）氣體有很大（dà）的濃度差，正是因（yīn）為這個濃度差被（bèi）抽氣體能不斷的越過界麵，擴散進入射流中，被帶（dài）往出口處，在出（chū）口處（chù）再由機械泵抽走。 

         擴散泵的（de）油蒸汽壓是（shì）決定泵的極限真空（kōng）的重要因素，因此盡量（liàng）選用飽和蒸汽（qì）壓低（dī）的泵油，其化（huà）學特性要好。 

         擴散泵不能單獨用來抽氣，一般要求泵的最大出口壓強為40帕。擴散泵的抽速決定於第一級噴嘴與（yǔ）泵體進氣口口徑間環（huán）形麵積的大小，抽速不是一恒（héng）定的（de）值，而是隨著進氣口的壓強而變化的，當壓強在（zài）10-2～10-3帕的時候，擴散泵的抽氣速度是最快的，當壓（yā）強小於5*10-4帕之後，擴散泵的抽氣速度最小，幾乎（hū）沒有抽氣能（néng）力（此時，進氣口的壓（yā）強較高，由於空氣的密度較大，使蒸汽流形成不了高速射流以阻擋空氣的反擴散，所（suǒ）以抽速下降）。 

        擴散泵在安裝前要清洗，之後才可以裝入擴散油（yóu），油在加熱前，必須要先對（duì）泵抽真空，停機（jī）前要先將擴散泵油冷卻到60～70攝氏度，才可以關閉前級抽氣，最後關冷卻水。 

       由於油擴散泵是無法杜絕有返油的幾率，那麽沒有辦法保證精密產品的100％純淨，特別是（shì）半導體行業，所以就（jiù）有“高（gāo）真空冷凝泵＋低真空（kōng）機械泵”所組成的無油真空係統，冷凝泵組成的排氣係統不（bú）僅排氣效率極高，而且有效（xiào）保證真空（kōng）腔的清潔，保（bǎo）證產品的質量（避免產（chǎn）品被汙染（rǎn）、增強（qiáng）膜層與基板之間的附著力），但是（shì）其維護成本非常的高，造價昂貴，所以普及率沒有油擴散泵廣泛。 

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