1. 電阻蒸發源蒸鍍發  


A. 加熱：高（gāo）熔點金屬做成適當形狀蒸發源，電流（liú）通過直接加熱。 


B. 優點：結構（gòu）簡單、造價便宜（yí）、使用可靠


C. 缺點：所能（néng）到到（dào）的最高溫度有限，加熱器壽命較短


D. 適合：熔點不太高，尤其對膜層質量要求（qiú）不（bú）大高的大批量生產。 


 2. 電子束蒸發源蒸鍍發 


A. 蒸發材料放入冷水鉗鍋（guō）中，利用電子束加熱


B. 優（yōu）點：獲（huò）得更大能量密度，使高熔點材料蒸發且速度快，膜的純度較高（gāo），熱效率高。


C. 分類：環形（xíng）槍（qiāng），直槍，e型槍和空心陰極槍等幾種。


D. 適合：高熔點，純度要求高的材料。

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