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真空鍍膜機的各部分組成及其工作原理

作者: 來源: 日期:2018-01-18 13:27:24 人氣:7244
真空鍍膜(mó)機是目前製作真空條件應用最為廣泛的真空設備(bèi),一般用真空室(shì)、真空機組(zǔ)、電氣控製櫃三大部分組成,排(pái)氣係統采用(yòng)擴散泵(bèng)+機(jī)械泵(bèng)+羅茨(cí)泵+低溫(wēn)冷阱+polycold組成。
下麵,詳細介紹真空鍍膜機的各部分組成(chéng)及其工作原理:
1、真空主體:真(zhēn)空腔根據(jù)加工產品要求的各(gè)異,真(zhēn)空腔的大小也不(bú)一樣,目前應用(yòng)最多的有直徑1.3M、0.9M、1.5M、1.8M等,腔體由不鏽鋼材料製作(zuò),要求不生鏽、堅實等,真空腔各部分有連接閥,用(yòng)來連接(jiē)各抽氣泵浦。  
2、輔助抽氣係(xì)統:排氣係統(tǒng)為鍍膜機真空係統的重要部分,主要有由機械泵、增壓泵(bèng)(主要介紹羅茨(cí)泵)、油擴散泵三大部分組成。此排氣係統(tǒng)采用"擴(kuò)散泵+機械泵+羅茨泵(bèng)+低溫冷阱+polycold"組成。排氣流程(chéng)為:機械(xiè)泵先將真空腔(qiāng)抽(chōu)至小於(yú)2.0*10-2PA左右的低真空狀態,為擴散泵後繼抽真(zhēn)空提供前(qián)提,之後當擴散泵抽真(zhēn)空腔的(de)時候,機械泵又配合油擴散泵(bèng)組成串聯,以這樣的方式完成抽氣動(dòng)作。 
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