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真空電鍍設備(bèi)膜厚的不均勻問題

作者: 來源: 日期:2017-10-25 16:07:52 人氣:4796
無論監控(kòng)儀(yí)精(jīng)度怎樣,它(tā)也(yě)隻能控製真空(kōng)室裏單點位置的膜厚(hòu),一般來講是工件(jiàn)架(jià)的中間位置。如果真空電鍍設備(bèi)此(cǐ)位置的膜厚不是絕對均勻的,那麽遠離(lí)中心位置(zhì)的(de)基片就無法得到均勻的厚度。雖然屏蔽(bì)罩能消除表現(xiàn)為長期的不均勻性,但有些膜(mó)厚度的變化是由(yóu)蒸發源的(de)不穩定或膜材的不同表(biǎo)現而引(yǐn)起的,所以幾乎是不可能消除的,但對真空(kōng)室的結構和蒸發源的恰當選擇可以(yǐ)使這些影響最小化。
  在(zài)過去幾年中,越來越多的用戶要求鍍膜係統製造廠家提供高性能的小規格、簡便型光學(xué)鍍膜係統,同時,用(yòng)戶對性能的要求不(bú)僅沒有降低,反而有所提高,特別(bié)是在薄(báo)膜密度和保證吸水後光譜變化最小化等方麵。
  現在,係統的平均尺寸規格已經在降低,而應(yīng)用小規格設備進行光(guāng)學鍍膜的(de)生產也已經轉變成為純技術問題。因此,選用現代化光學鍍膜係統的關鍵取決於對以下因素的認真考慮:對鍍膜產品的預(yù)期性能,基片的尺寸(cùn)大小和物理特性以及保證高度一(yī)致性工藝所必需的所有技術因素。
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