1、真空鍍膜設備（bèi）每完成200個鍍膜（mó）程序以上，應清潔工作室一次。方法是（shì）:用燒堿(NaOH)飽和溶液反複（fù）擦洗真空室內（nèi）壁，( 注（zhù）意人（rén）體皮（pí）膚不可以直接接觸燒堿溶液（yè），以免灼傷)目的是（shì）使鍍上去的膜料鋁(AL)與NaOH發生反應，反應後（hòu）膜層脫落，並釋放出氫氣。再用清水清洗真空室和用布沾汽油清洗精抽閥內的（de）汙垢。
2、當粗抽泵(滑閥泵，旋片泵)連續工作一個月(雨季（jì）減半)，需更換新油。方法是:擰開放油螺栓，放掉舊油，再將泵啟動數秒，使泵內的舊油完全排放（fàng）出來。擰回放油螺栓（shuān），加入新油至額定量(油視鏡觀察)。連續使（shǐ）用半年以上，換油時應將油蓋打開，用布擦幹淨箱內汙垢。
3、擴散泵連續使用6個月以上，抽速明（míng）顯（xiǎn）變慢，或操作失（shī）當，充入大氣，拆（chāi）去聯結水管，卸下電爐盤（pán），將一級噴嘴擰出，先用汽（qì）油將泵腔及泵膽（dǎn）清洗一遍，再用洗衣（yī）粉兌水（shuǐ）清洗一（yī）遍，然後用清水徹底清洗幹淨，待（dài）水份揮發幹以後，裝好泵膽，加入新擴散泵（bèng）油，並裝回機體，接好水管，裝好電爐（lú）盤，便（biàn）可以重新開機。在重新開機前，要（yào）注意檢（jiǎn）漏工（gōng）作。方法是:啟動維持泵，關好大門，數分鍾後，觀察（chá）擴散泵部（bù）分真空度是否達到6X10帕，否則要進行檢漏。檢查聯接（jiē）處是否裝密封膠圈，或（huò）壓壞密封圈。排除（chú）漏氣隱患後方可加熱，否則擴散泵油會燒環，無（wú）法進（jìn）入工作狀態。

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