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作(zuò)者: 來源: 日期:2016-03-04 15:57:36 人氣:4909

 

       真空鍍膜(mó)機主要指一類需要在較高真空度下(xià)進行的鍍膜,具體包括很多種類,包括真空離子(zǐ)蒸發,磁控濺射,MBE分子束外延,PLD激光濺射沉積等很多種。今天,昆山浦羞羞视频_羞羞漫画_羞羞视频在线观看_羞羞漫画在线观看_羞羞漫画SSS_羞羞色漫_羞羞网站_羞羞漫画在线_羞羞小视频_羞羞影院_羞羞漫画免费观看_羞羞漫画官网真空技術工(gōng)程有限(xiàn)公司為您介紹以下幾種鍍膜機工作(zuò)原理:
    

        一、空心陰極離子鍍原理

               在本底真空為高真空(kōng)的條件下,由陰極中通入氬器(qì)氣(1-10-2)在陰極(jí)與輔助陽極之間加上引弧電壓,使氬氣發生輝光放電,在空心陰極內產(chǎn)生低壓等離子體放電,陰(yīn)極(jí)溫度升高(gāo)到2300-2400K時,由冷陰極放電轉為熱陰極放電,開(kāi)始(shǐ)熱電子發射(shè),放電轉為穩定狀態(tài)。通入反應氣體,可以製化合膜。

        二、測控濺射工作原理

              先將真空室預(yù)抽至10-3Pa,然後通入氣體(如氬氣),氣壓為1-10 Pa時,給靶(bǎ)加負電壓,產生輝光放電,電子在電場(chǎng)正作用下加速飛向基片時,與氬原子碰撞,電離出Ar和(hé)另一個電子;轟擊靶材,由(yóu)二次電子(zǐ)電離的 越來越多,不斷轟擊靶材;磁場改變電(diàn)子的運動方向(xiàng),以電磁場束縛和延長電子的運(yùn)動軌(guǐ)跡,從而提高電子對工(gōng)作氣體的電離幾率。

        三、多弧離子鍍工作原(yuán)理

               其工作原理為冷陰極自持弧光放電,其物理(lǐ)基礎為場致發射。被鍍材料接陰極,真空(kōng)室接(jiē)陽極,真空(kōng)室抽為高真空時,引發電極啟動(dòng)器(qì),接觸拉開,此時,陰極與陽極之(zhī)間形成穩(wěn)定(dìng)的電弧放電,陰極表(biǎo)麵布滿飛速遊動的陰極斑,部分離子對陰極斑的轟擊使其變成點蒸發源,以若幹個電弧蒸發源為核心(xīn)的為多弧(hú)離子鍍。

        四、電阻蒸發式(shì)鍍膜機

               膜材即(jí)要鍍的材料放於蒸(zhēng)發舟中,置於真空室中,抽到一定真空時,通過電阻加(jiā)熱膜材,使其蒸發,當蒸發分子的平均自由程大於(yú)蒸發源至基片的線性(xìng)尺寸(cùn)時(shí),原子和(hé)分子從蒸(zhēng)發源中逸出後,到(dào)達基片形成膜。為了使膜厚均勻,可以利用(yòng)電機帶動基片旋轉,並用膜厚儀(yí)控製膜厚,製出優質膜。

        五、E型槍工(gōng)作原理

               陰極燈絲加熱(rè)後發射具有0.3    EV初動能的熱電子,這(zhè)些(xiē)熱電子在燈(dēng)絲陰極與(yǔ)陽極之(zhī)間的電場作用下加速並會聚成束狀。在電磁線圈(quān)的磁(cí)場中,電子束沿E x B的方向偏轉,通(tōng)過陰(yīn)極時,電子的能量提高到10KV,通過陽極電子偏轉270度(dù)角而入射坩堝(guō)內的膜材表麵上,轟擊(jī)膜材使其蒸發。

        六、PCVD鍍膜(mó)工作原理(lǐ)

               將被鍍件放在低壓輝(huī)光放(fàng)電(diàn)的陰極上(shàng),通入適當氣體,在一定溫度下,利用(yòng)化(huà)學反應和離子轟擊(jī)相結合的過程,在工件表麵獲(huò)得塗層。

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