分(fèn)析真空鍍膜機精(jīng)密抽真空速度慢的原因
作者: 來源: 日(rì)期:2020-07-24 23:49:11 人氣:1248
分析真空鍍膜機精密抽真空速(sù)度慢的原因
真(zhēn)空鍍(dù)膜機精度抽速慢的原因主要從以下幾(jǐ)個方麵找到:
首先,擴散泵可能不是很(hěn)好。
解決方法:可以用電離計(jì)測量單擴散泵的泵口,看(kàn)單擴(kuò)散泵的抽吸能達到多少,再看抽吸時間和極限(xiàn),然後比較。
二、真空係統有輕微漏(lòu)氣。
解決方法:需慢慢檢測泄漏,看抽真空(kōng)時間是否能達標。
三、箱子太(tài)髒,太髒的氣體大。
解決方法:清洗紙箱
四、前級真空度不好(hǎo),機械泵或機械泵加羅茨泵的終 極真空度不好。
解決方法:可單獨用電阻計檢測前管。