SF係列電子束蒸發光學真空鍍膜機

日期:2016-01-13 10:14:16 人氣:24949
SF係列電子束蒸發光(guāng)學(xué)真空(kōng)鍍膜機

工作(zuò)原理

電子束蒸發是(shì)將膜材放入水冷銅坩堝中,直接利用電子束加熱(rè),使膜材中的原(yuán)子或分子(zǐ)從表麵汽化逸出後入(rù)射到基片表麵凝結成(chéng)膜。電子束蒸發比一般電(diàn)阻加(jiā)熱蒸發熱(rè)效率高、束流密(mì)度(dù)大、蒸發速度快(kuài),製成(chéng)的薄膜純度高。

應用範圍

光學鍍膜設備可鍍製層數較多(duō)的短波通、長波通、增透膜、反射膜、濾光膜(mó)、分光膜、帶通膜(mó)、介質膜、高反膜、彩色反射膜等各種膜(mó)係,能夠實現(xiàn)0-50層膜的(de)膜係鍍膜,也(yě)能滿足如汽車反(fǎn)光玻璃、、眼鏡片、光學鏡頭、冷(lěng)光(guāng)杯等產品的鍍膜要求。配置不同的蒸發源、電子槍(qiāng)和離子(zǐ)源及(jí)膜厚儀可鍍多種膜係(xì),對金屬、氧化物、化合物及其(qí)他高熔點(diǎn)膜材皆可蒸鍍

產品特點

1)  光學鍍膜(mó)配備有石英晶(jīng)體膜(mó)厚(hòu)儀,采用PLC與觸摸屏係統聯(lián)合實現對整個工作過程的(de)自動控製,工作效率和產(chǎn)品質量(liàng)重複性一致性優良.
2)適用於光學(xué)領域行業,大規模(mó)工業生產要求的廠商使用。

技術參數表

SF係列電子束(shù)蒸發光學真(zhēn)空鍍膜機(jī)    
型號SF-800SF-1200SF-1400SF-1600SFW-1000SFW-1200SFW-1600
真空室尺寸 Φ800×1000MMΦ1200×1400MMΦ1400×1600MMΦ1600×1800MMΦ1000×1100MMΦ1200×1400MMΦ1600×1800MM
真空機組KT500擴散泵機組KT630擴散泵機組雙KT630擴散泵機組雙KT630擴散泵機組KT500擴散泵(bèng)機組KT630擴散泵(bèng)機(jī)組雙KT630擴散泵機組(zǔ)
鍍膜係統電子槍(qiāng)蒸發源、鍍膜輔助離子專用電源或(huò)霍爾離子源
充氣(qì)係統壓強控製儀
控製方式手動(dòng)或半自動
膜厚監控(kòng)係統石英晶體膜(mó)厚監控係統
抽氣速率5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min
極(jí)限真空3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa
備(bèi)注以上設備參數僅(jǐn)做參考,具體均按客戶實際工藝要求設計訂做
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