當前(qián)位置:首頁|DN係(xì)列多功能真(zhēn)空鍍膜機
工(gōng)作原理
應用範圍(wéi)
產品特點
技術參數表
DN係列多功能真空鍍膜機 | |||||||
型號 | DN-600 | DN-800 | DN-1000 | DN-1200 | DN-1400 | DN-1500 | DN-1600 |
真空室尺寸 | Φ600×800MM | Φ800×1000MM | Φ1000×1200MM | Φ1200×1400MM | Φ1400×1600MM | Φ1500×1500MM | Φ1600×1800MM |
真空機組 | KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴(kuò)散泵機組 | 雙KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散泵機組 | 雙KT800擴(kuò)散泵機(jī)組 | 雙KT1000擴(kuò)散泵機(jī)組 | 雙KT1000擴散泵機組 |
鍍膜(mó)係統 | 直(zhí)流電源或中頻電源+多弧(hú)電源(yuán)+E型電子槍+電阻蒸發舟+霍爾離子源+條形離(lí)子(zǐ)源(可選配) | ||||||
輔助鍍膜係統 | 低溫離子輔助源(除工具(jù)鍍(dù)外無(wú)需加溫係統) | ||||||
充(chōng)氣係(xì)統 | 質量流量計 | ||||||
控製係統 | 工業電腦自動控製(工控機)、PYDNB3000膜層在線(xiàn)編製係統 | ||||||
控製方式 | 手動、半自動、全自動 | ||||||
抽氣速率 | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min |
極(jí)限(xiàn)真空 | 5.0X10-4Pa | 5.0X10-4Pa | 5.0X10-4Pa | 5.0X10-4Pa | 5.0X10-4Pa | 5.0X10-4Pa | 5.0X10-4Pa |
備注 | 以上設備參數(shù)僅做參考,具體均按客戶實際工藝要(yào)求設計訂(dìng)做(可選配進口分子泵(bèng)機組) |