SF係列電子(zǐ)束蒸發光學真空鍍膜機

日期:2016-01-13 10:14:16 人氣:24958
SF係列電子束蒸發光學真空鍍(dù)膜機

工作原理

電子束蒸發是將膜材放入水冷銅坩堝中,直接利用(yòng)電子束加熱,使膜材中的(de)原子或(huò)分子從表(biǎo)麵汽化逸出後入射到(dào)基片表麵凝結成(chéng)膜。電子束蒸(zhēng)發比一般電阻加熱蒸發熱效率(lǜ)高、束流密度大、蒸發速度快,製成的薄膜純度高。

應用範圍

光學鍍膜設備可鍍(dù)製層數較多(duō)的短波通、長波通、增透膜、反射(shè)膜、濾光膜、分光膜、帶通膜、介(jiè)質膜、高反膜、彩色反射(shè)膜等各種膜係,能夠實現0-50層(céng)膜的膜係鍍膜,也能滿足(zú)如汽車反光玻璃、、眼鏡(jìng)片(piàn)、光學鏡頭、冷光杯等產品的鍍膜要求。配置(zhì)不同的蒸發源、電子槍和離子源及膜厚儀可鍍多種膜係,對金屬、氧化物、化合物及其他高熔點(diǎn)膜(mó)材皆可蒸鍍

產品特點

1)  光學鍍膜配備有石英晶體(tǐ)膜厚儀,采用(yòng)PLC與觸摸屏係統聯(lián)合實現對整(zhěng)個工作過程的自動控製,工作效率和產品質量重複性一(yī)致性(xìng)優良.
2)適用於光學領域行業,大規模工業生(shēng)產要求的廠商使用。

技術參數表

SF係列電子束蒸發光學(xué)真空鍍膜機    
型號SF-800SF-1200SF-1400SF-1600SFW-1000SFW-1200SFW-1600
真空室尺寸 Φ800×1000MMΦ1200×1400MMΦ1400×1600MMΦ1600×1800MMΦ1000×1100MMΦ1200×1400MMΦ1600×1800MM
真空機組KT500擴散泵(bèng)機組KT630擴散泵機組雙(shuāng)KT630擴散泵機組雙KT630擴散泵機組KT500擴散泵機(jī)組KT630擴散泵機組雙KT630擴散泵機組
鍍膜係統電子槍蒸發源、鍍膜輔助離子專用電源或霍爾離(lí)子源
充(chōng)氣係統壓強控製儀
控製方式手動或半自動
膜厚監控係統石英晶體膜厚監控係統(tǒng)
抽氣速率5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min
極限真空3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa
備注以上設備參數僅做(zuò)參考,具體均按客(kè)戶實際工藝(yì)要求設計訂做
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